超纯水在以电路板为主的电子元器件生产中的作用越来越重要，超纯水的质量已成为影响电路板、电子元器件产品质量、生产产量和生产成本的重要因素之一。在电子元器件的生产中，超纯水主要用于清洗水和用于配置各种溶液、浆液，不同的电子元器件在生产中对纯水和水质的要求是不同的。

电子超纯水设备是为了保证电子产品的质量安全，促进电子行业的健康运行，电子超纯水设备用于集成电路生产中高纯水清洗硅片、半导体材料、晶圆体材料的生产、加工。