超纯水和蒸馏水两种方法都产生化学性质接近H2O的水。超纯水是通过一系列工艺技术生产的水，是一种不含任何杂质的水。

水中的导电介质几乎全部去除，更没有细菌、病毒、含氯等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，主要用于电子工业、医药行业。

蒸馏是制造纯水的最古老方法之一。过滤后的水被加热直至蒸发，变成蒸汽。这些蒸汽被收集在一个无菌容器中，在那里它冷凝并再次变成水。蒸馏水不能保证不存在污染物。事实上，蒸馏水几乎从来都不是完全纯净的，它将从于空气接触的所有物质中吸收分子。一般普通蒸馏取得的水纯度不高，经过多级蒸馏水，出水才可达到很纯，成本相对比较高，应用会逐渐减少。蒸馏水能去除自来水中内大部分的污染物，但挥发性的杂质的无法去除，如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有机物。新鲜的蒸馏水是无菌的，但储存后细菌易繁殖；此外，储存的容器也很讲究，若是非惰性的物质，离子和容器的塑形物质会析出造成二次污染。