高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：1、微电子工艺对水质的要求；2、制水工艺的水平；3、检测技术的现状。在高纯水生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌、目前国内多采用的加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TDC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、电压、导致低击穿、产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。