制造工艺不同：

纯水一般是使用反渗透或者蒸馏等方式即可制得。纯化水则是使用蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜方法制备得到的制药用水。超纯水一般需要经过预处理、反渗透、EDI、树脂、杀菌器等多层工艺才能够制成。

用途不同：

纯水一般用于化工、冶金、宇航、电力、电子工业、生物、化学等领域。纯化水一般用于制药、供药用水。超纯水的应用非常广泛，一般应用于生产显示器、硬盘、极端超纯水用终端精处理混床、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃钢领域。

电导率不同：

纯水电导率在2-10之间

纯化水电导率小于0.2

超纯水的电导率为0.056

水中杂质指标不同

纯水与纯化水的杂质含量为PPM级别的，PPM就是百万分率或百万分之一。

而超纯水一般除了水分子之外，几乎没有杂质，也没有细菌、病毒等物质，也没有人体所需要的矿物质，所以一般用于工业。