中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997电子级水的技术指标应符合表中的规

电子级超纯水设备常用工艺(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

1.预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 

2.预处理－一级反渗透－加药机（PH调节）－中间水箱－第二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 

3.预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化系统水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 

4.预处理－反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象

电子级超纯水设备应用场合：

1.GMP纯化水半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；

2.超纯材料和超纯化学试剂；

3.实验室和中试车间；

4.汽车、表面抛光处理；

5.其他高科技精微产品。