1、依次关闭精密过滤器前进水阀、纯化水一级浓水调节阀，再打开清洁泵前后阀门、一级纯化水与浓水相连处阀门、一级高压泵旁路阀门；

2、打开中间水箱的排水阀，将箱内的水放完，再关闭排水阀加入纯化水进行40min的循环后再将纯化水排完。

3、配制适当的清洗溶液，并检查溶液的pH，在加清洗液入元件前，要确保所有药品都溶解均匀，溶液应为无色透明。

4、以上配置好溶液后，打开清洁泵运转40min，然后关闭清洁泵，排出溶液，再用纯化水冲洗1小时并排净。

5、关闭清洗泵的前后阀门，也关闭排水阀、一级纯化水与浓水相连处阀门、一级高压泵旁路阀门，再打开纯化水一级浓水调节阀和精密过滤器前进水阀，开始制备纯化水。

6、再冲洗，RO处理系统需回到正常操作状态，因清洗溶液可能会存留在渗透液中，渗透液需排洗至少10秒或直到渗透液品质达需求标准。

7、当清洗后再开始运行时，需确保模具渗透液清洗干净，否则二者之间可能发生化学变化，在清洗前，需注意操作参数以判断清洗效果，决定是否需要再一次清洗。